系統(tǒng)概述

沸石濃縮轉輪模廠測試設備為處理無塵室製程區(qū)環(huán)境循環(huán)大氣所含之低濃度揮發(fā)性有機物的污染防制設施，系統(tǒng)主要包括

• 利用疏水性沸石濃縮轉輪吸附及濃縮揮發(fā)性有機物氣體
• 透過多種型式的加熱設施，脫附濃縮的揮發(fā)性有機物氣體
• 模廠測試設備處理風量為25CMM

操作原理

• 揮發(fā)性有機氣體通過疏水性沸石濃縮轉輪後，能有效被吸附於沸石中，達到去除之目的
• 經(jīng)過沸石吸附揮發(fā)性有機物之潔淨氣體，直接排入循環(huán)大氣或HVAC
• 轉輪待機以每小時1~6轉的速度旋轉，同時將吸附之揮發(fā)性有機粅傳送至脫附區(qū)
• 於脫附區(qū)中利用一小段加熱氣體將揮發(fā)性有機物進行脫附
• 脫附後之沸石轉輪旋轉至吸附區(qū)，持續(xù)吸附揮發(fā)性有機氣體
• 脫附後之濃縮有機廢氣送至後續(xù)處理設施，進行二次濃縮或燃燒轉換成水及二氧化碳排至大氣中
• 新設製程污染防治設備處理效率評估或測試及操作參數(shù)最佳化調整